Nanometrik ruxsatda materiallar va na’munalar tadqiqot qilish uchun elektron mikroskop va SEC. SE va BSE detektorlar. Yuroqi va past vakuumda ishlash, EDS va Xray detektorlari. Tadqiqot uskunalarini ishlab chiqarish bo’yicha dunyoning yetakchilari Carl ZEISS va SEC elektron mikroskoplar.